HVA 矩形閥 Load-lock 典型應用
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HVA 矩形閥 Load-lock 典型應用

HVA 矩形閥 Load-lock 典型應用
上海伯東某生產原生多晶矽料生產設備, 矽片加工設備, 晶體矽電池生產設備企業, 使用美國 HVA 矩形閥用于真空機臺的 Load-lock工位, HVA 矩形閥安裝在 2X18 英寸規格內的矽片生產線上, 起到輔助傳遞矽片, 隔離真空腔室的作用.
HVA 矩形閥
矽片比較薄, 一般可到200um, 還比較脆, 所以在傳送過程中對震動比較敏感, 同時需要安裝于設備上的矩形閥方便維護, 使用壽命長. 經過伯東推薦, 客戶采購美國 HVA 88200 系列不銹鋼矩形閥.

美國 HVA 矩形閥具有獨特的密封系統, 可避免粉塵顆粒污染, 有效減少了維護次數. 外形尺寸小, 采用了專利技術的驅動系統,運行時震動小. 很好的滿足了客戶的需求. 與友廠 VAT 真空閥門對比, HVA 真空閥門維護更簡單, 無需將閥門從設備上移除, 常規保養直接更換密封圈即可.
HVA 矩形閥
HVA  矩形閥 88200 系列

> 1000000 次 啟閉次數
高壓不銹鋼坯體加工閥門主體
矩形閥尺寸: 高≤6 " ID (DN150) / 寬≤78 " ID (DN2000)
不銹鋼焊接波紋管
矩形閥 專利傳動軸設計, 振動小
可選擇高達 200℃的高溫型號
可定制, HVA 矩形閥適用于所有真空應用

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 葉小姐                               臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                      F: +886-03-567-0049
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