普發氦質譜檢漏儀

霍爾效應測試儀 ITO 薄膜測試案例
ITO 薄膜是一種 n 型半導體材料, 具有高的導電率, 高的可見光透過率, 高的機械硬度和良好的化學穩定性. 它是液晶顯示器 ( LCD ), 等離子顯示器 ( PDP ), 電致發光顯示器 ( EL / OLED ), 觸摸屏 ( TouchPanel ), 太陽能電池以及其他電子儀表的透明電極最常用的薄膜材料.

上海伯東某科研客戶霍爾效應測試案例一
對 ITO 薄膜樣品進行載流子濃度, 類型, 霍爾遷移率, 方塊電阻檢測, 主要是想看電阻值是否彼此相容, IV 曲線是否是線性的及樣本是否是歐姆的, 統一的, 均勻的等方面.
樣品: ITO 氧化銦錫, 標記為 ITO1, ITO2, ITO3
樣品薄膜厚度: 60 - 100 nm
樣品尺寸: 10 * 10 mm
實驗儀器: 上海伯東英國 NanoMagnetics ezHEMS 霍爾效應測試儀

電阻率: 10-4 至 109 Ω-cm ( 樣本依賴 ) 遷移率: 1 至 107 cm2 / Volt-sec ( 樣本依賴 ) 載流子濃度: 10e7 至 1021 per cm-3 ( 樣本依賴 ) 輸入電流: ±2 nA 至 ±20 mA, ±12 V compliance 最小霍爾電壓測量: 0.1 μV 支持 Van der Pauw 和 Hall bar 成形試樣 磁場強度: 0.6 Tesla 或 1 Tesla 永久磁鐵

測試溫度和磁場溫度: 300K RT 1 Tesla
* 在測試開始前, 儀器均經過標準樣品校驗. 所有樣品根據 ASTM 標準.

樣品 ITO1 測試結果:
I-V 測量結果

VdP 測量結果
測量頭類型: RT Head;   磁場: 9677G;   厚度: 80nm

上海伯東霍爾效應測試儀 ezHEMS 完美解決客戶測試需求方案
部分測試結論:
1. 得到的電阻值彼此相容.
2. 所有的IV 曲線都是線性的
3. 所有樣本都是歐姆的,統一的,均勻的.
4. Van der Pauw 測試為了保證準確性, 測試了2次, 測試結果是相同的.
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