普發氦質譜檢漏儀

電子束蒸發鍍膜 E-Beam
上海伯東代理 AdNaNo 鎧柏科技 E-Beam 電子束蒸發鍍膜機 ( 電子蒸鍍 ), 最大真空度可達 5E-10 torr, 提供客制化服務.

推薦設備型號: EBS-150  標準的設計, 左邊 load lock 腔體, 包含氧化和蝕刻過程;   右邊沉積腔內含一個電子束, 適用于約瑟夫森結,  特性:  真空度 5E-8 torr  最大 8inch 樣品  基本可傾斜 / 旋轉  可選 IBAD  全自動  腔室水冷

 

型號 EBS-150 UHV  特性:  真空度 5E-10 torr  最大 6inch 樣品  基本可傾斜 / 旋轉  可選 IBAD  全自動  腔室水冷

 

型號 EBS-300 Dual  特性:  真空度 5E-7 torr  行星機械手  雙 E-gun  全自動加工  軟件控制

E-Beam 電子束蒸發適用于
Lift-off 工藝
HMET, PHMET 晶體管
Ohmic and Schottky contacts on GaN 氮化鎵基片歐姆和肖特基接觸
IR waveguides 紅外波導
Thermal barriers 熱障
Magnetic materials for microwave applications 磁性材料微波應用
MEMS 封裝
超導隧道結

上海伯東代理 AdNaNo 鎧柏科技制造的超導結制備用電子束蒸鍍設備, 鎧柏鍍膜機專精于金屬及氧化物薄膜的制備, 可用于超導量子實驗室制備超導結 ( 量子比特和約瑟夫森結 ) 和量子器件, 可以制備大面積, 高穩定性和可重復性超導結. AdNaNo 電子束蒸發設備提供客制化服務, 滿足各類不同真空系統整合需求！