氦質譜檢漏儀超高真空系統檢漏
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氦質譜檢漏儀超高真空系統檢漏

Pfeiffer 便攜式氦質譜檢漏儀超高真空系統檢漏
上海伯東德國 Pfeiffer 便攜式檢漏儀 ASM 310 成功應用于超高真空系統檢漏
檢漏原因: 超高真空 Ultra-high vacuum, 真空度一般 < E-7 mbar, 在超高真空的環境下可以進行材料催化, 晶體生長,粒子加速等實驗, 為保證較高的真空度, 需要對整個真空系統的焊縫, 法蘭口等懷疑有漏的地方進行泄漏檢測. 為保證實驗腔體的清潔干燥, 不能出現油氣污染等情況的發生, 因此需要選擇內部集成干泵的檢漏儀.
上海伯東Pfeiffer 檢漏儀ASM310
檢漏方法: 如上圖所示, 采用真空法檢漏, 檢漏儀通過波紋管與真空腔體連接, 在懷疑有漏的地方噴氦氣, 如果檢漏儀報警, 說明此處有漏.
* 鑒于信息保密, 更詳細的超高真空系統檢漏方法歡迎致電 021-5046-3511

上海伯東 Pfeiffer 便攜式檢漏儀 ASM 310 主要參數:

型號

連接法蘭

進氣口最大壓力

氦氣抽速

前級泵抽速(干泵)

噪音

重量

ASM 310

DN 25 ISO-KF

15 hPa

1.1l/S

1.7m3/h

<45db(A)

21KG


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